1. Wymiary kamery:

• Średnica, mm - 700-1500

• Wysokość lub długość, mm - 800-1500

• Komora próżniowa o pionowej konstrukcji.

2. Oprócz tradycyjnych środków pompowania są stosowane pompy kriogeniczne i turbomolekularne. 

3. Wyposażenie technologiczne może być zarówno z dolnym i górnym napędem obrotowym, z wymienną kopułą, działania planetarnego

4. Źródła technologiczne:

• parowniki z wiązkami elektronów

• źródła jonów gazu

• parowniki rezystancyjne z dozownikiem rozpylanej substancji

• źródła magnetronowe.

5. Stojaki zasilania i sterowania obejmują stosowanie importowanych części z Wielkiej Brytanii, Niemiec, Japonii, Stanów Zjednoczonych. 

Instalacja do napylania próżniowego powłok  optycznych zapewnienia proces technologiczny w trybie automatycznym, z wyjświetlaniem wszystkich danych na monitorze komputera.