1. Liczba kamer - 3 - 7 szt.
2. Wielkość podłóż:
Szerokość – do 3000 mm
Długość – do 4000 mm
3. Liczba magnetronów - 2 - 7 szt.
4. Liczba źródeł jonów - 1 - 3 szt.
5. Czas cyklu – od 60 sekund.
6. Moc zasilania magnetronu - 10 - 70 kW
Legenda:
1. Grzejnik
2, 3, 5, 7, 9. Komora
4. Źródło jonów
6.8. Magnetrony
10. Wyrób
11, 12. Stojaki zasilania
13. Stojak kontroli
14. System podciśnienia
15. System wysokiej próżni
16. Stojak zarządzania
17. Brama
I - V. Komory